사업분야

RF Generator 및 Matcher

CVD 공정용 RF. Matcher 제품군과 지원 모델을 소개합니다.

RF MATCHING SOLUTIONS

RF Generator 및 Matcher

CVD 공정에서 고주파 신호를 안정적으로 전달하고 조정하는 RF.
Matcher 제품군입니다.

SUPPORTED MODEL LIST

RF Generator 지원 모델

AE

지원 Model No

  • RFG Series
  • RFPP RF/LF-5
  • RFPP RF/LF-10
  • RFPP RF/LF-20
  • PDX-900-2V
  • PDX-1400
  • HFV-8000
MKS

지원 Model No

  • NOVA-50
  • GHW-50
  • GHW-25
  • OEM Series
  • GMW-25
  • NOVA-25
Comdel

지원 Model No

  • CX-600
  • CPS-1001
  • CLF-5000
  • CX-1250S

DETAIL INFORMATION

Matcher P/N List

Comet

지원 Model No

  • 0190-40238
  • 0190-82884
  • 0190-30303
  • 832-160407-001
  • 832-231571-001
  • 27-422531-00
  • 27-367855-00
  • 0190-32974
목록에 없는 모델도 적용 가능 여부를 검토할 수 있습니다. 문의 시 제조사와 Model No를 함께 알려주세요.